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影响激光外差高精度计量的 几个关键因素

赵慧洁 张广军

赵慧洁, 张广军. 影响激光外差高精度计量的 几个关键因素[J]. 北京航空航天大学学报, 2002, 28(2): 221-224.
引用本文: 赵慧洁, 张广军. 影响激光外差高精度计量的 几个关键因素[J]. 北京航空航天大学学报, 2002, 28(2): 221-224.
ZHAO Hui-jie, ZHANG Guang-jun. Factors Affecting the Precision of Heterodyne Interferometer[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2002, 28(2): 221-224. (in Chinese)
Citation: ZHAO Hui-jie, ZHANG Guang-jun. Factors Affecting the Precision of Heterodyne Interferometer[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2002, 28(2): 221-224. (in Chinese)

影响激光外差高精度计量的 几个关键因素

基金项目: 航空科学基金资助项目(96I51115); 国家部委基金资助项目
详细信息
    作者简介:

    赵慧洁(1966-),女,辽宁沈阳人,副教授,100083,北京.

  • 中图分类号: TH 744.3

Factors Affecting the Precision of Heterodyne Interferometer

  • 摘要: 共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度.所以着重分析了影响激光外差计量精度的4个关键因素,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径;利用激光外差及矢量分析理论,深入研究了频率混叠误差和相位跳变误差的成因、变化规律,并讨论了提高测量系统精度的有效措施.对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义.

     

  • [1]obroff N. Residual errors in laser interferometry from air turbulance and nonlinearity[J]. Appl Opt,1987,26(13):2676~2682. [2]Shapiro J H. Heterodyne mixing efficiency for detector arrays[J]. Appl Opt,1987,26(17):3600~3606. [3]Sommargren G E. A new laser measurement system for precision metrology . Precision Engineering, 1987,11(3):197~181. [4]赵慧洁. 共光路干涉仪频率混叠误差分析[J],计量学报,1999,20(3):166~171. [5]徐家骅. 计量工程光学[M]. 北京:机械工业出版社,1992.
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-09-06
  • 网络出版日期:  2002-02-28

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