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支持MEMS的CAD/CAE系统结构研究

康建初 尹宝林 高鹏

康建初, 尹宝林, 高鹏等 . 支持MEMS的CAD/CAE系统结构研究[J]. 北京航空航天大学学报, 1998, 24(4): 475-478.
引用本文: 康建初, 尹宝林, 高鹏等 . 支持MEMS的CAD/CAE系统结构研究[J]. 北京航空航天大学学报, 1998, 24(4): 475-478.
Kang Jianchu, Yin Baolin, Gao Penget al. Study on CAD/CAE System Architecture Supporting MEMS[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 1998, 24(4): 475-478. (in Chinese)
Citation: Kang Jianchu, Yin Baolin, Gao Penget al. Study on CAD/CAE System Architecture Supporting MEMS[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 1998, 24(4): 475-478. (in Chinese)

支持MEMS的CAD/CAE系统结构研究

基金项目: 国防科工委"九五"预研基金(8.7.1.8)资助项目
详细信息
  • 中图分类号: TH 7

Study on CAD/CAE System Architecture Supporting MEMS

  • 摘要: CAD/CAE技术在MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)研究过程中具有非常重要的作用.本文首先介绍了用于MEMS的CAD/CAE技术特点,然后研究了MEMS CAD/CAE系统结构,给出了软件支持工具结构框图,指明了解决其中关键技术的途径.CAD/CAE技术的应用,将提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化.

     

  • 1. Koppelman G M. Oyster:a three dimensional structural simulator for microelectromechanical design. Sensor & Actuator, 1989, 20(11):179~185 2. Senturia S D,Johson B P,Kim S,et al. A computer-aided design system for microelectromechanical systems. J of Microelectromechanical Systems, 1992, 1(1):3~13 3. 费 龙,钟先信, 温志渝,等. 微机械传感器计算机辅助设计系统. 仪器仪表学报, 1995, 16(1):223~226 4. 尹宝林. MEMS中的CAD/CAE技术与系统结构. 仪器仪表学报, 1996, 17(1):210~213 5. 杨 岳, 周兆英, 李 勇,等. 硅微结构异向腐蚀技术及其计算机仿真系统研究. 仪器仪表学报, 1995, 16(1):79~83 6. Danel J S,Delapierre G. Anisotropic crystal etching:a simulation program. Sensor & Actuator, 1992, A31:267~274 7. 孙家广,陈玉健,黄汗文. 计算机辅助设计基础. 北京:清华大学出版社,1990
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-06-15
  • 网络出版日期:  1998-04-30

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