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基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计

冯丽爽 刘惠兰 林恒 张春熹

冯丽爽, 刘惠兰, 林恒, 等 . 基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计[J]. 北京航空航天大学学报, 2006, 32(06): 691-694.
引用本文: 冯丽爽, 刘惠兰, 林恒, 等 . 基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计[J]. 北京航空航天大学学报, 2006, 32(06): 691-694.
Feng Lishuang, Liu Huilan, Lin Heng, et al. MOEMS accelerometer based on double Fabry-Perot interferometers and closed loop[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2006, 32(06): 691-694. (in Chinese)
Citation: Feng Lishuang, Liu Huilan, Lin Heng, et al. MOEMS accelerometer based on double Fabry-Perot interferometers and closed loop[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2006, 32(06): 691-694. (in Chinese)

基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计

详细信息
    作者简介:

    冯丽爽(1968-),女,河北辛集市人,副教授, fenglishuang@buaa.edu.cn.

  • 中图分类号: TH 7

MOEMS accelerometer based on double Fabry-Perot interferometers and closed loop

  • 摘要: 设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响,设计了一种差动式双FP腔测量机构.为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围,提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计.建立了其数学模型,对所设计的加速度计重要参数指标——灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析.在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计,结果表明:该系统精度可以达到5×10-6g以上.

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-27
  • 网络出版日期:  2006-06-30

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