北京航空航天大学学报 ›› 2016, Vol. 42 ›› Issue (7): 1361-1367.doi: 10.13700/j.bh.1001-5965.2015.0538

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基于CCR带并行腔双集束型设备调度方法

周炳海, 黎明   

  1. 同济大学机械与能源工程学院, 上海 201804
  • 收稿日期:2015-08-24 出版日期:2016-07-20 发布日期:2016-07-29
  • 通讯作者: 周炳海,Tel.: 021-54810409 E-mail: bhzhou@tongji.edu.cn E-mail:bhzhou@tongji.edu.cn
  • 作者简介:周炳海 男,博士,教授,博士生导师。主要研究方向:制造系统调度、建模与仿真评价,设备可靠性与预防性维护建模。Tel: 021-54810409 E-mail:bhzhou@tongji.edu.cn;黎明 男,硕士研究生。主要研究方向:半导体制造系统生产调度、建模与仿真评价。
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(71471135,61273035)

Scheduling method for double-cluster tools with parallel chambers based on capacity constraint resource

ZHOU Binghai, LI Ming   

  1. School of Mechanical Engineering, Tongji University, Shanghai 201804, China
  • Received:2015-08-24 Online:2016-07-20 Published:2016-07-29

摘要: 为有效解决450mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法。首先,综合考虑多品种加工、晶圆驻留和资源约束等特征,以系统总完工时间最小作为目标,建立带并行腔双集束型设备调度数学模型;其次,为优化机械手作业顺序,对CCR实施锁定-收紧-松弛(LTL)策略,构建了一种以CCR为界的分段调度算法;最后,进行了仿真实验分析。结果表明本文提出的算法是有效和有竞争性的。

关键词: 集束型设备群, 并行腔, 驻留约束, 产能约束资源, 调度算法

Abstract: To effectively solve scheduling problems of multiple cluster tools of 450 mm wafer fabrication systems with parallel processing chambers, a scheduling method based on capacity constraint resource (CCR) was proposed. Firstly, with comprehensive consideration of the characteristics of different types of wafers, resources and residency constraints, a mathematical programming model of double-cluster tools with parallel chambers was established to minimize the makespan of the system. Then, to optimize manipulator movements by adopting locking-tightening-loosening (LTL) strategy to the CCR, a piecewise scheduling algorithm was constructed with the CCR.Finally, through the analysis of simulation experiments, the results indicate that the proposed algorithm is valid and competitive.

Key words: multiple cluster tools, parallel chambers, residency constraint, capacity constraint resource, scheduling algorithm

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