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MOEMS陀螺的谐振腔设计

冯丽爽 刘惠兰 贺斌 王广龙

冯丽爽, 刘惠兰, 贺斌, 等 . MOEMS陀螺的谐振腔设计[J]. 北京航空航天大学学报, 2006, 32(11): 1373-1376.
引用本文: 冯丽爽, 刘惠兰, 贺斌, 等 . MOEMS陀螺的谐振腔设计[J]. 北京航空航天大学学报, 2006, 32(11): 1373-1376.
Feng Lishuang, Liu Huilan, He Bin, et al. Resonator design for MOEMS gyroscope[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2006, 32(11): 1373-1376. (in Chinese)
Citation: Feng Lishuang, Liu Huilan, He Bin, et al. Resonator design for MOEMS gyroscope[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2006, 32(11): 1373-1376. (in Chinese)

MOEMS陀螺的谐振腔设计

详细信息
    作者简介:

    冯丽爽(1968-),女,河北辛集人,副教授,fenglishuang@buaa.edu.cn.

  • 中图分类号: V 241.5

Resonator design for MOEMS gyroscope

  • 摘要: 微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响.

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2006-04-30
  • 网络出版日期:  2006-11-30

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