北京航空航天大学学报  2001, Vol. 27 Issue (1): 109-111    
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SOI/SIMOX-CMOS器件的研究
温梦全
北京航空航天大学 理学院
Fabrication of SIMOS/SOI CMOS IC-s
WEN Meng-quan
Beijing University of Aeronautics and Astronautics, School of Science
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